研究業績

2010年　研究発表

エコマテリアルのキャラクタリゼーションについて

2010.8.2　エコシステム研究部門キックオフミーティング　発表要旨集　p.21
野島　雅

Evaluation of Focused Ion Beam for Shave-off Depth Profiling

2010.10.05　Abstracts of 5th International Symposium on Practical Surface Analysis p.140
M. Fujii, T. Imamura, M. Nojima and M. Owari

Estimation of instrumental factor on shave-off profiling

2010.10.05　Abstracts of 5th International Symposium on Practical Surface Analysis p.141
M. Nojima, T. Imoto, M. Fujii, M. Owari and Y. Nihei

Specimen preparation for three-demensional atom probe
using the focused ion-beam lift-out technique

2010.10.05　Abstracts of 5th International Symposium on Practical Surface Analysis p.196
T. Yamamoto, Y. Hanaoka, N. Mayama, T. Kaito, T. Adachi, M. Nojima and M. Owari

Improvement and evaluation of the nano-beam SIMS control system

2010.10.05　Abstracts of 5th International Symposium on Practical Surface Analysis p.197
T. Imamura, M. Fujii, M. Nojima and M. Owari

レーザー補助広角３次元アトムプローブ開発と実デバイスの３次元原子レベル解析(Ⅳ)

2010.11.25 奈良県文化会館　p.25
マイクロビームアナリシス第141委員会・第142回研究会資料
間山憲仁、岩田達夫、野島　雅、谷口昌宏、尾張真則

2010年　発表論文

A new specimen preparation method for three-dimensional atom probe

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (2010)
Vol. 8 p.141-144
2010.4.10
Y. Hanaoka, S. Mikami, N. Mayama, T. Iwata, Y. Kajiwara, T. Kaito, T. Adachi,
M. Nojima and M. Owari

Shave-off深さ方向分析法とその応用

表面科学, 2010年9月　
第31巻，第9号, p. 448-451
野島　雅

未来を照らすキーツール　微細な空間測る「ナノものさし」

界面科学研究センター　平成２１年度研究成果報告書
p 196-202
野島　雅

Failure analysis of fine Cu patterning by shave-off profiling

Surface and interface analysis 2011
Vol. 43 p. 621-624
M. Nojima, M. Fujii, Y. Kakuhara, H. Tsuchiya, A. Kameyama, S. Yokogawa, M. Owari and Y. Nihei