| 機器名 | 走査型電子顕微鏡（SEM） | |
| 製造メーカー | 日立製作所 | |
| 型番 | S-510 | |
| 特徴 | 走査型電子顕微鏡（SEM）は、物体に細い電子線（電子プローブ）を照射し、このときに発生する二次電子を利用して、試料表面の凹凸や形態を立体的に観察することができる装置である。また、SEMは光学顕微鏡に比べて高い分解能と深い焦点深度を得ることが可能であるため、より細部の情報も得られる。 | |
| 使用目的 | 試料の観察 | |
| 測定条件 | 形状 | 粉末、薄膜など |
| 量／大きさ | 微量 | |
| 検出限界 | 分解能 7 nm (70 Å) | |
| その他の制限 | 測定試料は乾燥したものに限る。 | |
| 備考 |  |
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| 関連リンク | 機器 | 光学顕微鏡、透過型電子顕微鏡 |
| 研究 | カチオン性シランカップリング剤を用いた酸化チタン薄膜の調製 塩基性炭酸マグネシウムチューブの調製とその応用 界面ゲル化反応法を用いた金属担持中空粒子の調製 カーボン／黒鉛ハイブリット材料 電気毛管乳化法を利用した生体適合性カプセルの調整 サーファクタントフリーエマルション―疎水性固体粒子による安定化 ミセル電解法を利用した無機微粒子担持薄膜の調製 |
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| 設置場所 | XMA室 | |
