Hayase Group
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論文　paper

(論文)
1. T.Oguchi, M.Hayase, T.Hatsuzawa; Micromachined Display Device Using Sheet Waveguide and Multicantilevers Driven by Electrostatic Force, IEEE Trans. on Industrial Electronics, 52(4), pp.984-991(2005)
2. 早瀬仁則, 斉藤大輔, 初澤毅; 多孔質シリコン層への触媒金属堆積, 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン準部門誌), 125-E(10), pp.407-412(2005)
3. J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, M. Hayase; Synthesis and Characterization of Porous Platinum Layers Deposited on Highly Doped n-Type Porous Silicon by Immersion Plating, Journal of The Electrochemical Society, 153(11) C741-C746(2006)
4. J. G. A. Brito-Neto, K. Kondo, M. Hayase; Porous Gold Structures Templated by Porous Silicon, Journal of The Electrochemical Society, 155(1) D78-D82 (2008)
5. 早瀬仁則, 加藤厚子, 内海敦; 貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイスの開発, 精密工学会誌, 74(10), pp.1056-1061 (2008)
6. M. Hayase, M. Nagao, Effect of Reverse Pulse on Copper Fill, Journal of The Electrochemical Society, 156(6) D198-D203 (2009)
7. M. Hayase, K. Otsubo, Copper Deep Via Filling with Selective Accelerator Deactivation by a Reverse Pulse, Journal of The Electrochemical Society, 157(12) D628-D632 (2010)
8. M. Hayase, T. Fujii, J. G. A. Brito-Neto, A Miniature Fuel Cell with Porous Pt Layer Formed on a Si Substrate, Journal of The Electrochemical Society, 158(4), B355-359 (2011)
9. S. Ariyasu, K. Hanaya, M. Tsunoda, M. Kitamura, M. Hayase, R. Abe, S. Aoki, Photochemical Cleavage Reaction of 8-Quinolinyl Sulfonates That Are Halogenated and Nitrated at the 7-Position, Chem. Pharm Bull., 59(11) 1355-1362 (2011)
(国際会議)
1. M.Hayase; Ultra Thin Fuel Cell with Monolithically Fabricate Silicon Electrodes, Small Fuel Cells 2005, (2005.4.28, Washington DC, invited)
2. M.Hayase, T.Hatsuzawa; Bump Reduction in Copper Superfilling by Cl- Rich Bath, 207th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.456 (2005.5.17, Quebec)
3. M. Hayase, D. Saito; Catalyst Layer Formation onto Meso Pore Porous Silicon Layer for Miniature Fuel Cells, 5th Intl. Workshop PowerMEMS 2005, Technical Digest pp.128-131, Tokyo (2005.11.29)
4. J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, M. Hayase; Deep Platinum Deposition on Medium and High-doping N-type Porous Silicon by Immersion Plating, 209th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.420(2006.5.9, Denver)
5. J. G. A. Brito-Neto, S. Araki, S. Shirako, M. Hayase; Fabrication of Silicon Based Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching, 210th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.596(2006.11.2, Cancun)
6. M. Hayase, Y. Touke; Bottom-up Copper Deposition in Deep Trenches by Selective Accelerator Removal, 210th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.1643(2006.11.2, Cancun Mexico)
7. M. Hayase, S. Araki, J. G. A. Brito-Neto; Si Based Monolithic Fuel Cell Electrodes by Selective Plasma Etching, 6th International Workshop on PowerMEMS 2006, Technical Digest pp.85-88 (2006.11.30, Berkeley USA)
8. J. G. A. Brito-Neto, K. Kondo, Masanori Hayase; Porous Gold Structures Built on Silicon Substrates, 211th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.877 (2007.5.9, Chicago USA)
9. M. Hayase, M. Nagao, Y. Toke; Deep Via Filling by Electroplating for Through Chip Electrodes of Stacked ICs, 5th Intl. Conf. on Numerical Analysis Engineering NAE2007, p.36(2007.5.19, Padang Indonesia)
10. A. Kato, A. Uchiumi, M. Hayase; A Novel Device for Fixing Small Objects Using Through-Pore Porous Silicon, Transducers'07, p. 731 (2007.6.12, Lyon France)
11. M. Hayase, M. Nagao; Effect of agitation on accelerator removal by reverse pulses in copper electroplating, 58th Meeting of the Intl. Soc. of Electrochem., (2007.9.13, Banff Canada, invited)
12. M. Nagao, M. Hayase; Accelerator Behavior with Reverse Pulses in Copper Elctroplating, 212th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.5(2007.10.8, Washington DC)
13. M. Hayase, Y. Saito, K. Kondo, J. G. A. Brito-Neto; Formation of Porous Ruthenium Layer on Porous Silicon Template, 212th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.1365(2007.10.8, Washington DC)
14. K. Kan, M. Hayase; Ag-Sn Solder Bonding for Stacking Micro Fuel Cells, 7th intl. workshop PowerMEMS 2007, pp.165-168 (2007.11.28, Freiburg Germany)
15. T. Fujii, J. G. A. Brito-Neto, M. Hayase; Thin Si Based Fuel Cell with Porous Pt Layer Formed on a Si Substrate, 7th intl. workshop PowerMEMS 2007, pp.169-172 (2007.11.28, Freiburg Germany)
16. M. Hayase, J. G. A. Brito-Neto; Synthesis of Porous Noble Metal Layers by Immersion Plating on Porous Silicon, 6th Intl. Conf. Porous Semiconductors Science and Technology, pp.55-56, (2008.3.10, Sa Coma-Mallorca Spain)
17. M. Hayase, T. Fujii, J. G. A. Brito-Neto, A Novel Fuel Cell Electrode Structure with Porous Pt Layer Formed on a Si Substrate, ( A-8: L18, CIMTEC2008, Achireale, Italy, June 2008 )
18. J. G. A. Brito-Neto, T. Matsuzaka, Y. Saito, M. Hayase; Porous Metal Frameworks on Silicon Substrates, Advances in Science and Technology Vol. 54 (2008) pp 416-421 ( CIMTEC2008, Achireale, Italy, June 2008 )
19. H. Adachi, K. Suga, M. Hayase, S. Aoki; Numerical Simulation of Corrosion under Different Solution Velocity, Advanced Materials Research Vols. 33-37 (2008) pp 1303-1306 ( FEOFS2007, Urumqi, China, August 27-29, 2007 )
20. M. Hayase, T. Matsuzaka, J. G. A. Brito-Neto; Formation of Porous Noble Metal Layer by Displacement Reactions with Porous Silicon, ECS Transactions, 16(3), pp. 231-235 (2008)
20b. M. Hayase, T. Matsuzaka, J. G. A. Brito-Neto; Formation of Porous Noble Metal Layer by Displacement Reactions with Porous Silicon, 214th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No. 1807 (2008.10, Honolulu)
21. M. Hayase, M. Nagao; Bottom-up Copper Deposition in Deep Holes by Selective Accelerator Removal, 214th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No. 2513 (2008.10, Honolulu)
22. T Matsuzaka, J. G. A. Brito-Neto, M. Hayase; Fabrication of Through-chip Porous Pd Layer on Si Substrate for Miniature Fuel Cells, 8th intl. workshop PowerMEMS 2008, pp.345-348 (2008.11.10, Sendai Japan)
23. Y. Tajima, T. Fujii, M. Hayase; Miniature Fuel Cell with MOnolithically Fabricated Si Electrodes - Optimization with Square Shape Through-chip Porous Layer -, 8th intl. workshop PowerMEMS 2008, pp.349-352 (2008.11.10, Sendai Japan)
24. Y. Saito, M. Hayase; Through-chip Porous Ru-Pt Catalyst Layer for Miniature DMFC, 8th intl. workshop PowerMEMS 2008, pp.353-356 (2008.11.10, Sendai Japan)
25. M. Hayase, M. Nagao; Accelerator Distribution Control for Bottom-up Copper Deposition in Deep Holes, 215th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No. 995 (2009.5, San Francisco, invited)
26. Taku Matsuzaka, Junichi Shimanuki, Takashi Ishiguro, Masanori Hayase,Formation of Through-Chip Porous Noble MetalLayers on Silicon Substrates, 216th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.2450 (2009.11.6, Vienna)
27. K. Horikoshi, Y. Tajima, T. Fujii and M. Hayase, A Miniature Fuel Cell with Monolithic Si Based!!Electrodes!!- Adhesion between Electrodes and PEM -, 216th Meeting Abstracts of the Electrochemical Society, No.1135(2009.11.9, Vienna)
28. M. Hayase, K. Horikoshi, T. Fujii, Y. Tajima, Miniature Fuel Cell with Monolithically Fabricated Si Electrodes -Adhesion between Electrodes and PEM, 9th intl. workshop on PowerMEMS 2009, pp.13-16, (2009.12.1, Washington DC)

(口頭発表)
1. 早瀬仁則, 斎藤 大輔; シリコン電極による薄型燃料電池 -多孔質シリコン層の高空孔率化による性能向上-, 第12回燃料電池シンポジウム講演予稿集, pp.236-238 (2005.5.12, タワーホール船堀)
2. 早瀬仁則; シリコン電極による部材の小型・薄型化, (株)技術情報協会セミナー, (2005.5.26, ゆうぽうと)
3. 早瀬仁則; MEMS技術による燃料電池開発動向, 立命館大学2005年度マイクロシステム技術研究会第３回例会PowerMEMS2005報告会, (2006.1.16, 立命館大学)
4. 菅　一大,早瀬仁則; 薄型燃料電池Si電極のハンダ接合によるスタッキング, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, J04, (2006.3.15, 東京理科大学)
5. 加藤厚子,内海敦,早瀬仁則; 貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイス, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, E38, (2006.3.16, 東京理科大学)
6. 白子惣一,早瀬仁則; ドライエッチングによるSi燃料電池電極の一体形成, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, E39, (2006.3.16, 東京理科大学)
7. 内海　敦,加藤厚子,早瀬仁則; 貫通多孔質シリコン層における圧力損失測定, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, F44, (2006.3.16, 東京理科大学)
8. 荒木伸太郎,Geraldo Brito,早瀬仁則; Siメソポーラス形成時に生じるマイクロポーラス層の除去, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, F45, (2006.3.16, 東京理科大学)
9. 西廣伸悟,東家友也,早瀬仁則; Cl-リッチ浴による銅めっきスーパーフィリングにおけるバンプ形成抑制, 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, F46, (2006.3.16, 東京理科大学)
10. 早瀬仁則; マイクロ燃料電池, 精密工学会, マイクロ生産機械システム専門委員会第６回委員会 (2006.7.28, 千葉)
11. 早瀬仁則; Deep Via Filling by Copper Electroplating for IC Stacking, Manufactruing technology supported by computational science --- Tokyo University of Science - Xinjiang University 2006 Intl. Univ. Exchange Seminar (2006.10.16, 東京理科大学)
12. 早瀬仁則; シリコン電極を用いた薄型燃料電池の開発, 第4回日本真空協会関西支部セミナー (2006.12.19, 大阪)
13. 太古無限,加藤厚子,早瀬仁則; 貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイス―流路の製作―, 2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, C34, (2007.3.21, 芝浦工業大学)
14. 長尾真行,東家友也,早瀬仁則; 選択的促進剤除去によるボトムアップ銅めっき深溝埋込み, 2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, C35, (2007.3.21, 芝浦工業大学)
15. 荒木伸太郎,Jose Geraldo Alves Brito-Neto,早瀬仁則; 選択的プラズマエッチングにより一体成形したシリコン電極を用いた小型燃料電池, 2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, C36, (2007.3.21, 芝浦工業大学)
16. 藤井智也，Jose Geraldo Alves Brito-Neto,早瀬仁則; 多孔質シリコン深部への白金堆積, 電気化学会第74回大会, 1C30, (2007.3.29, 東京理科大学)
17. Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 近藤健太郎, 早瀬仁則; Si基板上へAu多孔質構造の形成, 電気化学会第74回大会, 1O20, (2007.3.29, 東京理科大学)
18. 菅一大,早瀬仁則; Siチップ接合時のはんだ層厚均一化, 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, L13, (2007.9.12, 旭川市)
19. Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 松坂 拓, 近藤健太郎, 早瀬仁則; 多孔質シリコン層の多孔質パラジウム層への改質, 2007年電気化学会第秋季大会, 1O05, (2007.9.19, 東京工業大学)
20. 田島裕亮,藤井智也,早瀬仁則; 一体成型したシリコン電極板を用いた薄型燃料電池-プラズマエッチングの一様性改善-, 2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 833-834(J25), (2008.3.17, 明治大学)
21. 松坂 拓, 齋藤陽介, Jose Geraldo Alves Brito-Neto, 早瀬仁則; シリコン基板上への多孔質パラジウム層形成とその応用, 電気化学会第75回大会, 3F24, (2008.3.31, 山梨大学)
22. V. N. Tondare, N. Ozawa, M. Hayase, Porous Silicon Based Microfluidic Device for Bio-applications, 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 691-614(I34), (2008.9.18, 東北大学)
23. 松坂 拓, 島貫純一, 早瀬仁則; シリコン基板上への貫通した多孔質貴金属層の形成, 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, A17 (2009.9.10, 神戸大学)
24. 青田清信, 水越直樹, 早瀬仁則; 深溝埋込み銅めっき時の濃度差対流解析, 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, A18 (2009.9.10, 神戸大学)
25. 堀越亮志, 田島裕亮, 藤井智也, 早瀬仁則; 一体成型したシリコン電極板を用いた薄型燃料電池−電解質膜の密着性改善−, 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, F66 (2009.9.12, 神戸大学)
26. 小竹希, 竹内一平, 早瀬仁則; マイクロ流路を用いた層流下における銅の腐食挙動, 第56回材料と環境討論会講演集, B-106(4P) (2009.9.28, 大阪府立大学)
27. 早瀬仁則; シリコン一体成形電極板による薄型燃料電池, 第4回超分子研究会講座要旨集, P5-8 (2009.9.29, 慶応大学, 依頼講演)
28. 鈴木敦義, 青田清信, 水越直樹, 早瀬仁則; 深穴埋込み銅めっき時の濃度差対流解析, 2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, R36 (2010.3.17, 埼玉大学)
29. 水越直樹, 鈴木敦義, 青田清信, 早瀬仁則; 銅めっき深穴埋込における遠心力の影響, 2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, R37 (2010.3.17, 埼玉大学)


(解説等)
1. 早瀬仁則; シリコンプロセスを用いた超薄型DMFCの開発, 月刊エコインダストリー(シーエムシー出版), 10(6), pp.12-18 (2005)
2. 早瀬仁則; シリコン微細加工プロセスを用いた超小型燃料電池の開発, 砥粒加工学会誌, 50(1), pp.11-14 (2006)
3. 早瀬仁則; PowerMEMS, 日本実験力学会誌, 6(2), pp.93-94 (2006)
4. 早瀬仁則; 機械・加工技術とナノテクノロジーI, 理大科学フォーラム, 266, pp.9-12 (2006.8)
5. 早瀬仁則; 微細孔吸引による細胞固定技術, BIO INDUSTRY(シーエムシー出版), 24(3), pp.73-79 (2007)
6. 早瀬仁則; 微細加工技術による薄型セルの試作, 燃料電池, 7(1), pp.42-46 (2007)
7. 早瀬仁則; 微細加工における湿式めっきの応用─MEMS燃料電池，内部配線─, 鉱山, 658, pp.28-35 (2008)
8. 早瀬仁則; ICチップ内Cu配線形成に用いられる銅めっきのメカニズム, Material Stage (技術情報協会), 8(4), pp.4-6 (2008)
9. 早瀬仁則; モバイル燃料電池の動向とマイクロ燃料電池の開発, 月刊 ディスプレイ ( テクノタイムズ社 ), 14(10), pp.10-14 (2008)
10. 監修 早瀬仁則; 最先端高密度配線銅めっき技術, シーエムシー出版(ISBN 978-4-7813-0143-3)(2009.11)

(新聞等)
1. 日刊工業新聞 2006.5.26, 35面
2. 日刊工業新聞 2007.2.28, 29面
3. 日経産業新聞 2007.3.9, 8面
4. 化学工業日報 2007.5.8,


(展示等)
1. 諏訪圏工業メッセ2006, (2006.10.19-21, 諏訪湖イベントホール)
2. SEMICON Japan 2006, (2006.12.6-8, 幕張メッセ)
3. ナノバイオExpo 2007, (2007.2.21-23, 東京ビックサイト)
4. SEMICON Japan 2008, (2008.12, 幕張メッセ)
5. Nanotech 2009, (2009.2.18-20, 東京ビックサイト)
6. イノベーションジャパン 2009, (2009.9.16-18, 東京フォーラム)
7. 諏訪圏工業メッセ2009, (2009.10.15-17, 諏訪湖イベントホール)
8. FC Expo 2010, (2010.3.2-4, 東京ビックサイト)