東京理科大学
理工学部
機械工学科

 


     
東京理科大学
理工学部 機械工学科

早瀬研究室




研究室の風景
シリコン薄型燃料電池 血液中からがん細胞をとらえる
マイクロ流体デバイス
シリコン貫通電極に向けた銅めっき

専門分野
微細加工
MEMS

研究テーマ
銅めっき
マイクロ流体デバイス

研究室の特徴
IC(集積回路)の中には、数ナノメートルの部品がびっしり詰まっています。この半導体製造において発達してきたシリコン微細加工技術を発展させ応用し、化学反応や生物を制御する微小機械を作り、電子回路を超えた新しい機能創造を目指した研究を行っています。

スタッフ
指導教員:早瀬 仁則

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