東京理科大学創域理工学部機械航空宇宙工学科

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創域理工学部
機械航空宇宙工学科

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理工学部機械工学科

早瀬研究室

研究室の風景


シリコン薄型燃料電池	血液中からがん細胞をとらえるマイクロ流体デバイス	シリコン貫通電極に向けた銅めっき

専門分野

微細加工
MEMS

研究テーマ

銅めっき
マイクロ流体デバイス

研究室の特徴

IC（集積回路）の中には、数ナノメートルの部品がびっしり詰まっています。この半導体製造において発達してきたシリコン微細加工技術を発展させ応用し、化学反応や生物を制御する微小機械を作り、電子回路を超えた新しい機能創造を目指した研究を行っています。

スタッフ

指導教員：

早瀬　仁則

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