Copper Electroplating
集積回路内部の配線は、 微細溝内部から優先的にめっきが進む銅めっきスーパーフィリングにより形成されています。 このスーパーフィリングの高度化を試みています
燃料電池
Fuel cell
シリコン基板上に微細燃料流路および触媒層を一体成形し、超薄型燃料電池を試作しました。 出力を向上させ、リチウムイオン電池を越える小型高性能電源の開発を目指しています。
新デバイス
new device
燃料電池にとどまらず、いろいろな化学反応を制御する微小デバイスの開発を進めています。